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1 Amplitude control system of drive-mode oscillations of MEMS gyroscopes [会议论文]

作者:Nesterenko, T.G.^1;Barbin, E.S.^1;Baranov, P.F.^1;等

关键词:Amplitude control;Capacitance change;...

会议举办机构:National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk, Russia^1

会议时间:2019

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